利用燃燒法將有害氣體、蒸汽、液體或煙霧轉(zhuǎn)化成無害物質(zhì)的過程稱為燃燒凈化法，也稱為焚燒法。燃燒法適用于高濃度VOCs廢氣的處理，在正常情況下，去除率可達95%以上。燃燒凈化法的化學(xué)反應(yīng)主要是燃燒氧化和高溫?zé)岱纸猓栽摲椒ㄖ贿m用于純化那些在高溫下可以分解的可燃或有害物質(zhì)。

燃燒方法分為直接燃燒、熱燃燒、催化燃燒和其他類別,直接燃燒法是使揮發(fā)性有機化合物的儀器迅速轉(zhuǎn)化為二氧化碳和水在更高的溫度,直接燃燒法溫度一般高于1100℃,適用于處理高濃度的有機廢氣,揮發(fā)濃度范圍在5000 ~ 10000 mg / m3。一般采用熱燃燒處理濃度為500-5000mg/m3的有機廢氣。廢氣本身并不是作為燃料使用，而是作為輔助燃料燃燒過程中的燃燒氣體。反應(yīng)所需溫度較低，通常維持在540~820℃。催化燃燒又稱催化氧化，無火焰燃燒溫度在370~480℃，適用濃度范圍廣，在2000-6000mg/m3范圍內(nèi)。

直接燃燒又稱火焰直接燃燒。由于廢氣本身含有較高濃度的可燃成分，可直接在空氣中燃燒，使有害物質(zhì)在高溫作用下分解成無害物質(zhì);該方法工藝簡單，投資少，適用于高濃度、小風(fēng)量的廢氣。

直燃設(shè)備包括一般的燃燒爐、窯爐，或通過一些裝置將廢氣進口到鍋爐中作為燃氣進行燃燒，不適合處理濃度低的氣體。在石油煉化廠和石化廠，在煤氣產(chǎn)生裝置和反應(yīng)尾氣裝置的開啟、關(guān)閉和事故處理中，經(jīng)常使用火炬作為安全措施。然而，由于物料衡算、生產(chǎn)管理和回收設(shè)備等原因，有時加工后的油氣和燃氣被排放到火炬中進行燃燒。火炬燃燒不僅會產(chǎn)生大量有害氣體、煙塵和熱輻射，對環(huán)境造成危害，而且還會造成有用燃料氣體的大量損失。因此，應(yīng)盡量減少和防止火炬燃燒。